反應(yīng)腔
我司生產(chǎn)的反應(yīng)腔，憑借精密制造技術(shù)、特種涂層技術(shù)和清洗技術(shù)，獲得國內(nèi)外主流客戶的青睞，產(chǎn)品性能滿足客戶制程要求。
目前制造的反應(yīng)腔應(yīng)用于Ecth設(shè)備、PVD設(shè)備、RTP設(shè)備、EPI設(shè)備、ALD設(shè)備等。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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產(chǎn)品參數(shù)
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
高精密
高精尺寸的設(shè)備零件是半導(dǎo)體芯片特別是納米級芯片制造的基礎(chǔ)，零部件精度直接決定了晶圓制程設(shè)備的精度以及其各道工藝處理功能的實現(xiàn)
高潔凈度
高潔凈的設(shè)備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎(chǔ)。制程設(shè)備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出。
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設(shè)備零部件是芯片制程設(shè)備的功能需求，零件的耐腐蝕性能決定了設(shè)備的功能性、可靠性、和設(shè)備在線停機(jī)維護(hù)的頻次高低。
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金/不銹鋼 |
| 表處處理 | 陽極氧化、化學(xué)鍍鎳、涂層、精密清洗 |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
