Chassis
用于300mm設(shè)備，刻蝕設(shè)備中的底盤的關(guān)鍵部件，用于支撐晶圓，確保晶片在刻蝕過(guò)程中保持穩(wěn)定，同時(shí)可以調(diào)節(jié)晶圓高度，?使晶片的周邊都能均勻地與氣體噴射孔相互對(duì)應(yīng)，?從而實(shí)現(xiàn)均勻的刻蝕。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點(diǎn)
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產(chǎn)品參數(shù)
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精密
高精尺寸的設(shè)備零件是半導(dǎo)體芯片特別是納米級(jí)芯片制造的基礎(chǔ)
零部件精度直接決定了晶圓制程設(shè)備的精度以及其各道工藝處理功能的實(shí)現(xiàn)
高潔凈度
高潔凈的設(shè)備零部件是晶圓工藝制程得到良品率的基礎(chǔ)
制程設(shè)備的潔凈度直接決定了在制晶圓及后續(xù)芯片的良品率，甚至決定了整條生產(chǎn)線是否有合格品產(chǎn)出
高耐腐蝕
高耐腐蝕的設(shè)備零部件是芯片制程設(shè)備的功能需求
零件的耐腐蝕性能決定了設(shè)備的功能性、可靠性、和設(shè)備在線停機(jī)維護(hù)的頻次高低
產(chǎn)品參數(shù)
| 材料 | 鋁合金 |
| 表面處理 | 陽(yáng)極氧化 |
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計(jì)、制造出來(lái)的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計(jì)、過(guò)程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過(guò)程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競(jìng)爭(zhēng)力。
