IGS標準通氣基座
IGS標準通氣基座采用模塊化設(shè)計，具備符合SEMI標準的可靠的密封與耐腐蝕能力。用戶根據(jù)不同的氣體配置需求，可構(gòu)建緊湊的并方便安裝維護的氣體傳輸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
咨詢專家
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產(chǎn)品特點
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質(zhì)量管理
產(chǎn)品特點
工作條件
可耐工作壓力 7500PSI；工作溫度 -10 ～200℃
氦測外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3/sec
技術(shù)特征
純度 SEMI F20 UHP材料，316L （ VIM+VAR ）或316L （VAR）
產(chǎn)品流道經(jīng)過EP、鈍化工藝處理，內(nèi)表面粗糙度Ra＜0.1μm，流道內(nèi)表面鉻鐵比符合SEMI F19標準，滿足超高純氣體傳輸系統(tǒng)要求
質(zhì)量管理
富創(chuàng)質(zhì)量管理秉承"好的質(zhì)量是設(shè)計、制造出來的"為原則,關(guān)注客戶端到端的質(zhì)量服務(wù),從研發(fā)、設(shè)計、過程全生命周期質(zhì)量管理關(guān)注各環(huán)節(jié)中入口質(zhì)量、過程質(zhì)量、出口質(zhì)量,以保證整體質(zhì)量可控,最終構(gòu)建成以以預(yù)防為主的質(zhì)量文化,助力客戶產(chǎn)品更具競爭力。
